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真空包裝機渦輪分子泵
時間:2015-07-22 13:41 作者:青島亚游国际
  渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的機械真空泵。工作壓力範 圍10_8〜IPa,抽氣速率在5000L/S以下,性能優良的真空泵可以獲得10_9〜IPa的極 限真空,泵的轉速為l0000到50000r/min,其抽速範圍很寬,在九個數置級間具有恒定的抽速。分子泵主要用作超髙真空和髙真空泵,但它不能對大氣直接排氣,需要配置前級泵,並用其主要性能(如極限真空和抽速)都和配置的前級泵的容量、轉數、被抽氣 體的種類有關。分子泵對較輕的氣體抽速較大,對氫的抽速比對空氣的抽速大20%。
 
  在以機械形式運動的各類真空泵中,分子泵是一種結構精密、工藝要求髙的泵。泵的 動、靜葉片的幾何形狀與抽速有很大關係,需要特殊的工藝加工來保證葉片的尺寸和精度。 同時要求轉子有很好的動平衡,動葉片應具有高強度以承受髙速轉動產生的離心力,保證泵 的運轉可靠。
 
  國內生產的分子泵型號為F係列渦輪式分子真空泵(簡稱渦輪分子泵它的性能特點 是:結構緊湊,分子泵由置於泵體內的中頻電動機直接驅動,渦輪轉子為整體式結構;該泵 對大分子量的氣體有較高的壓縮比,且中頻電動機置於前級空間,能獲得清潔的高真空和超 髙真空;工作壓力範圍寬,在lCT7Pa範圍內具有穩定的抽速工作平穩,由於采用了精密軸 承,嚴格的動平衡工藝和一係列的減振措施,使泵振動小,噪聲低;啟動時間短,一般在4〜 15min內能達到滿抽速,標準化的法蘭連接尺寸、垂直結構,.使其便於與真空係統連接。適 用於要求清潔的高真空和超髙真空的儀器設備。如髙能加速器、核聚變反應裝置、宇航模擬、真空鍍膜、真空冶煉、半導體提純、大型電子管排氣等。
 
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